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      MEMS可燃气体传感器

      MEMS可燃气体传感器是主要用于检测环境中可燃气体气体浓度的MEMS气体传感器。MEMS可燃气体传感器采用固体金属氧化物半导体材料作为气敏元件,SI基衬底.上的微热板是采用MEMS工艺制作的。该可燃气体传感器可把不同功能、不同敏感方向或致动方向的多个传感器或执行器集成于一体。适用于除了恶劣环境外各种场合的可燃气体浓度检测。

      • 气体类型: 可燃气体

      产品介绍:

      MEMS可燃气体传感器是主要用于检测环境中可燃气体气体浓度的MEMS气体传感器。MEMS可燃气体传感器采用固体金属氧化物半导体材料作为气敏元件,SI基衬底.上的微热板是采用MEMS工艺制作的。该可燃气体传感器可把不同功能、不同敏感方向或致动方向的多个传感器或执行器集成于一体。适用于除了恶劣环境外各种场合的可燃气体浓度检测。

      产品参数:

      检测气体:可燃气体

      可燃气体测量范围:0-10000ppm

      回路电压Vc:≤24V DC

      加热电压VH2.8V0.1V AVorDC

      负载电阻RL:可调

      加热电阻RH80?土20?(室温)

      加热功耗PH:≤80mW

      敏感体电阻Rs1K?~30K?

      灵敏度SRO/RS2

      浓度斜率a:≤0.9

      温度:20°C2°C

      湿度:55%RH5%RH

      标准测试电路:VH:2.8V0.1V,VC:5.0V0.1V

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